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寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案

更新時間:2025-03-25      點擊次數:695

寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案

SEMICON China 2025也已進入開幕倒計時狀態!作為全球半導體產業的年度盛事,今年的SEMICON China又將帶來哪些驚喜呢?今天,寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略,為你揭開這場科技盛宴的神秘面紗!


寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案


展會邀請
INVITATION

展會將于2025年3月26至28日,在上海新國際博覽中心舉辦,展會將涵蓋半導體制造、封裝測試、設備材料等多個領域,寶帝誠邀您前來交流,一同探索半導體應用中的流體控制技術!

寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案

以創新方案,面對挑戰





用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案

Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環節:反應腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。

ESC Cooling

ESC 是刻蝕機中的核心部件,其冷卻系統至關重要,Bürkert 針對該工藝提供解決方案:


雙通道閥門 - 開關

通過 2 組Burkert氣動閥的高頻開關控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環,以實現機臺的調溫目的。


雙通道閥門 - 控制

通過2組Burkert電動閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環,以實現機臺的無極調溫目的。

PCW Cooling


Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water,各支路數據通過工業以太網網關采集和交換,實現控制、監控和診斷,以實現冷卻水的閉環控制

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測試分選機高效冷卻解決方案

寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案

測試分選機在高負荷運行時,發熱問題嚴重影響設備穩定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統解決方案通過工業以太網通訊,實現采集和交換、控制、監控和診斷,提升設備整體性能和效率,確保測試分選機穩定運行。


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寶帝與您不見不散





寶帝邀您共赴Semicon盛會,解鎖半導體應用流體控制新方案

如果您從事半導體相關行業,關注刻蝕鍍膜冷卻工藝和測試分選機的高效冷卻等半導體相關應用,一定不要錯過寶帝在 Semicon 展會的精彩呈現!

3月26 - 28日,上海新國際博覽中心,寶帝與您不見不散E6-6670,攜手探索半導體領域工藝流程。




END

屆時寶帝攜手Bürkert系統解決方案及更多Bürkert展品亮相Semi展會敬請期待!




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